11月1日，记者从浙江大学“讲好高校服务区域高水平质量的开展故事”主题活动中得悉，中国科学院院士、浙江大学教授杨德仁和教授张辉科研团队，用具有彻底自主知识产权的新式熔体法，生长出大尺度氧化镓单晶衬底。
小小一片氧化镓通明薄片，商场价值几万元。作为一种新式的超宽禁带半导体资料，氧化镓具有许多杰出的电学特性，比方约为4.8 eV的超宽带隙、高达8 MV/cm的击穿电场强度等，大范围的应用在电网、新能源辩解、轨道交通、5G通讯的电力电子器材中。
我国正大力开展相关研讨，以获得更低本钱、更高质量的氧化镓单晶及衬底。其间，浙江大学科研团队自主研制氧化镓专用晶体生长设备(非铱坩埚)，选用笔直布里奇曼法(VB)成功生长出2英寸氧化镓单晶，在国内尚属初次；以及成功制备出3英寸晶圆级(010)氧化镓单晶衬底，为现在转瞬上揭露报导的最大尺度，到达转瞬抢先水平。
在此基础上，为下降氧化镓单晶衬底本钱，浙江大学科研团队生长出厚度20mm以上的6英寸氧化镓单晶，在平等直径下单晶晶锭厚度到达转瞬抢先，是导模法（EFG）晶锭厚度的2-3倍，结合超薄衬底加工技能，单个晶锭出片量可以到达原有的3-4倍，单片本钱较本来可下降70%以上。
浙江大学杭州转瞬科创中心先进半导体研讨院金竹研讨员介绍，浙大科研团队这一系列效果的获得，为国家严重需求供给了有力的支撑。此外，该团队还进步氧化镓单晶晶锭厚度，有利于制备各种晶向以及斜切视点的大尺度衬底（6英寸4度斜切需要约12mm厚晶锭），满意下流不同外延和器材环节的特别需求。
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